
主營產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
4214 型離子發(fā)生器即使在高純度 N2 環(huán)境下也支持“擴(kuò)展 ISO 1 級(jí),10nm”的高清潔度,并實(shí)現(xiàn)出色的離子平衡。
詳情介紹:
特征
■超低顆粒負(fù)載 采用單晶硅電極。
■獨(dú)特的不向外界釋放顆粒的清潔機(jī)制,確保長期穩(wěn)定的清潔度
■采用智能控制電路,無需任何調(diào)節(jié)
■內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)控離子產(chǎn)生,實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除
■控制器,電源 內(nèi)置集成緊湊型設(shè)計(jì)
■自動(dòng)高壓關(guān)斷功能可在低流量時(shí)保護(hù)產(chǎn)品
■非常適合先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝和其他超低顆粒應(yīng)用
■ 24V 直流驅(qū)動(dòng)
規(guī)格
輸入電壓 | 24V DC+/-5% 6W(典型值) |
---|---|
離子平衡 | <+/-25V 150mm 距離 40LPM 無管道連接 |
靜電消除時(shí)間 |
<10sec 150mm 距離 40LPM 無管道連接 +/-1kv → +/- 100v 通過充電板監(jiān)視器 |
離子發(fā)生方式 | 電暈放電型 高頻交流型 |
清潔度 |
ISO Class1,0.1 微米 “擴(kuò)展 ISO Class1,10nm”* |
電極 | 單晶硅可替代 |
兼容的吹掃氣體 | 氮?dú)?> 99.998% |
流量 | 40LPM(36.5Kpa)~90LPM(171kpa) |
*大吹掃壓力 | 207Kpa(=100LPM流量) |
*高氣體溫度 | 60℃ |
N2 吹掃連接 | Swagelok3/8" 外徑管道 |
電離 N2 連接 |
世偉洛克 1/2"OD 管道連接,帶 1/4NPT 內(nèi)螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC |
工作溫度限制 | 15~60℃ |
信號(hào)輸出 | 開/關(guān)觸點(diǎn)報(bào)警和離子滴輸出 |
尺寸 |
長152.4mm x 寬72.4mm x 深32mm (不包括管道) |
重量 | 640克 |
外部的 | 不銹鋼 |
安裝方法 | 背面M5螺絲 螺絲長度必須小于10mm |
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