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特點(diǎn)
實(shí)現(xiàn)了高分辨率和穩(wěn)定的超精密長度測(cè)量。高精度·開放式激光刻度,內(nèi)置原點(diǎn)
- 信號(hào)波長:138nm
- 內(nèi)置高精度原點(diǎn)精度:±0.1μm
- 刻度有效長度:9種型號(hào),160至960 mm
-
類似于激光光波干涉儀的高精度,高分辨率
- 精度:(0.1 + 0.4 L / 100)μmp-p(L <460 mm)
- L:有效長度(mm)
- 易于處理和可靠性與magnescale(安裝和調(diào)整)相當(dāng)
- 對(duì)氣流和壓力變化穩(wěn)定
- 藍(lán)色玻璃板使用:8×10 -6 /°C(有效長度:160至960 mm)
- 主要應(yīng)用:半導(dǎo)體制造設(shè)備,檢測(cè)設(shè)備,精密加工設(shè)備,精密測(cè)量設(shè)備·試驗(yàn)機(jī)等
規(guī)格
主要規(guī)格 | ||
---|---|---|
半導(dǎo)體激光器用于激光刻度。由于激光對(duì)人體有害,請(qǐng)不要查看檢測(cè)頭部分。 描述內(nèi)容如有更改,恕不另行通知。 |
||
有效長度:L(mm) | 160/260/360/460/560/660/760/860/960 | |
比例總長度 | 有效長度+ 36毫米 | |
*大可移動(dòng)長度 | 有效長度+ 10毫米(每側(cè)5毫米) | |
精度(20°C時(shí)) | L <460:(0.1 + 0.4 L / 100)μmp - pL≥460:3μmp - p L:有效長度(mm) | |
光柵間距 | 約0.55μm | |
信號(hào)波長 | 約0.138μm(約138 nm) | |
原點(diǎn)精度 | ±0.1μm | |
原點(diǎn)位置 | 從中心到中心,每個(gè)50毫米左右 | |
原點(diǎn)檢測(cè)方向 | 一種方式 | |
返回錯(cuò)誤 | 原則上沒有。 | |
重復(fù)性 | 原則上沒有。 | |
溫度膨脹系數(shù) | 8×10 -6 /°C | |
光源 | 半導(dǎo)體激光波長790 nm輸出6 mW | |
輻射功率 | DHHS 1級(jí) | |
檢測(cè)方法 | 衍射光柵掃描類型 | |
工作溫度范圍 | 10℃~30℃(非冷凝) | |
儲(chǔ)存溫度范圍 | -10°C至50°C(溫度60%或更低) | |
*大響應(yīng)速度 | 400 mm / s(連接BD 96時(shí)) |
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