
主營產(chǎn)品:
光學儀器、光學材料、實驗儀器、手動工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動元件、電工電氣、測量工具、計量設備、氣動工具、電動工具、化工設備、化工輔料、點膠設備、小型設備、儲存設備、物流設備、工業(yè)安防、**防護、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設備、辦公文 具、工裝夾具、測試治具、機械加工。設備等。
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹:
SV-4540、6040、9045是輪播型,具有大量基材,因此非常適合中小型或小批量高混合生產(chǎn)。
SV-200圓盤壓模鎳沉積專用設備,超緊湊,全自動,高產(chǎn)量
ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設備(重慶內(nèi)藤)
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ULVAC愛發(fā)科間歇式濺射設備(重慶內(nèi)藤)
詳情介紹:
特征
- SV-4540、6040、9045是輪播型,具有大量基材,因此非常適合中小型或小批量高混合生產(chǎn)。
- SV-200圓盤壓模鎳沉積專用設備,超緊湊,全自動,高產(chǎn)量
采用
- 在各種基板上形成電極膜,絕緣膜和介電膜
規(guī)范
SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | |
標準排氣系統(tǒng) | 8英寸低溫泵 | 12英寸低溫泵 | 12英寸低溫泵 | 16英寸低溫泵 |
到達壓力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
倉庫方向 | 側 | 側 | 側 | 側 |
成膜區(qū)域均勻的 靜態(tài) 旋轉 |
Φ200毫米±5% | L300mm±10% | L300mm±10% | L400毫米±10% |
基板加熱 | 沒有 | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
控制系統(tǒng) | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 |
選件 SV-200除外 |
渦輪泵 | 非水冷電極 | ||
油擴散泵 | APC機制 | |||
多個同時倉庫 | 板翻轉機制 | |||
下倉庫 | 反應飛濺 | |||
常規(guī)陰極 | ||||
鐵磁陰極 | ||||
射頻蝕刻清潔(SV-4540) | ||||
偏置機制(SV-4540) |