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主營(yíng)產(chǎn)品:

光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。

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產(chǎn)品名稱(chēng)：日本ULVAC愛(ài)發(fā)科重慶優(yōu)勢(shì)出售
產(chǎn)品型號(hào)：ACS-4000
產(chǎn)品廠(chǎng)商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

濺射裝置負(fù)載鎖定型緊湊飛濺 ACS-4000

詳情介紹：

特征

成膜室設(shè)有維修口，便于進(jìn)行靶材更換、清洗等維修作業(yè)。
標(biāo)準(zhǔn)安裝 3 個(gè) 2 英寸 LTS 陰極，與 4 英寸板兼容。非常適合降低高價(jià)值目標(biāo)的運(yùn)行成本。
可通過(guò)PC自動(dòng)操作各設(shè)備，通過(guò)配方輸入法自動(dòng)成膜。
支持同時(shí)成膜和多層成膜的CO濺射法。
控制面板變小，節(jié)省空間。

采用

MRAM、磁傳感器等磁性材料器件的開(kāi)發(fā)。
試制金屬薄膜、電極化成等電子器件。
材料開(kāi)發(fā)、新型功能膜試制。
作為各種實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

規(guī)格

達(dá)到壓力	6.7×10 ^-5帕
排氣系統(tǒng)	TMP + RP
板尺寸	Φ4 英寸 x 1 張
基板加熱機(jī)制	MAX500oC加熱
膜厚分布	±5%（Φ80mm區(qū)域內(nèi)）
目標(biāo)大小	Φ2英寸LTS陰極×3
飛濺電源	射頻/直流
氣體導(dǎo)入系統(tǒng)	Ar：MFC控制
選項(xiàng)	基板直流偏置基板加熱 700oC 基板水冷準(zhǔn)備室反向?yàn)R射機(jī)構(gòu) 陰極四重烘烤機(jī)構(gòu) 工藝氣體（氧氣）